See dépôt sous vide in All languages combined, or Wiktionary
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"Bien que les termes dépôt sous vide et dépôt en phase vapeur se recoupent très largement, ils ne sont pas strictement synonymes :\n** l’évaporation sous vide, par exemple, se déroule en général dans un haut vide, en régime moléculaire, où l’on ne peut plus vraiment parler stricto sensu de phase vapeur ;\n** à l’inverse, certains procédés de dépôt chimique en phase vapeur sont réalisés sous pression ambiante."
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If you use this data in academic research, please cite Tatu Ylonen: Wiktextract: Wiktionary as Machine-Readable Structured Data, Proceedings of the 13th Conference on Language Resources and Evaluation (LREC), pp. 1317-1325, Marseille, 20-25 June 2022. Linking to the relevant page(s) under https://kaikki.org would also be greatly appreciated.