See Sputterausbeute on Wiktionary
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"text": "Unter der Sputterausbeute Y (“Sputtering yield”) versteht man die mittlere Anzahl der Targetatome, die pro auftreffendem Ion emittiert werden. Y hängt vom Targetmaterial, von der Art und Energie der bombardierenden Ionen und deren Einfallswinkel ab.",
"translation": "Le rendement de pulvérisation Y (en anglais “sputtering yield”) désigne le nombre moyen d’atomes de la cible émis par ion incident. Y dépend du matériau de la cible, de la nature et de l’énergie des ions la bombardant et de leur angle d’incidence."
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"translation": "Le rendement de pulvérisation (en anglais “[sputtering] yield”) est le quotient du nombre d’atomes émis de la cible par celui des atomes atteignant ladite cible. Les atomes émis de la cible se condensent sur le substrat et forment une couche mince."
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If you use this data in academic research, please cite Tatu Ylonen: Wiktextract: Wiktionary as Machine-Readable Structured Data, Proceedings of the 13th Conference on Language Resources and Evaluation (LREC), pp. 1317-1325, Marseille, 20-25 June 2022. Linking to the relevant page(s) under https://kaikki.org would also be greatly appreciated.